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半導(dǎo)體體積電阻率測(cè)試儀

簡要描述:ATI-1000S型半導(dǎo)體體積電阻率測(cè)試儀主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評(píng)估和測(cè)試,該系統(tǒng)采用四線電阻法測(cè)量原理進(jìn)行設(shè)計(jì)開發(fā),可以在高溫、真空氣氛的條件下測(cè)量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,可以分析被測(cè)樣品電阻和電阻率隨溫度、時(shí)間變化的曲線。

  • 產(chǎn)品型號(hào):ATI-1000S型
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-08-21
  • 訪  問  量:3556

詳細(xì)介紹

品牌AIRTIMES/中航時(shí)代產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域印刷包裝,汽車

ATI-1000S型高溫半導(dǎo)體體積電阻率測(cè)試儀主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評(píng)估和測(cè)試,該系統(tǒng)采用四線電阻法測(cè)量原理進(jìn)行設(shè)計(jì)開發(fā),可以在高溫、真空氣氛的條件下測(cè)量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,可以分析被測(cè)樣品電阻和電阻率隨溫度、時(shí)間變化的曲線。半導(dǎo)體體積電阻率測(cè)試儀目前主要針對(duì)圓片、方塊、長條等測(cè)試樣品進(jìn)行測(cè)試,可以廣泛用于半導(dǎo)體材料硅(si)、鍺(ge),化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦(InSb),三元化合物半導(dǎo)體GaAsAl、GaAsP,固溶體半導(dǎo)體,如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測(cè)量等材料的電阻率測(cè)量。

技術(shù)參數(shù):

溫度范圍:RT-1000℃

升溫斜率:0-10℃/min (典型值:3℃/min)

控溫精度:±0.5℃

電阻測(cè)量范圍:0.1mΩ~1MΩ

電阻率測(cè)量范圍:100nΩ..cm~100KΩ .cm

測(cè)量環(huán)境:惰性氣氛、還原氣氛、真空氣氛

測(cè)量方法:四線電阻法

測(cè)試通道:單通道

樣品尺寸:10mmx10mmX20mm或φ<20mm ,d<5mm

電極材料:上電極半圓型鉑金電極,下電極平板型鉑金電極

絕緣材料:99氧化鋁陶瓷

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)格式:TXT文本格式

數(shù)據(jù)傳輸:USB

符合標(biāo)準(zhǔn):ASTM

供電:220V±10%,50Hz

工作溫度:5℃ 至 + 40 ℃;

存儲(chǔ)溫度:–40 ℃ 至 +65 ℃

工作濕度:+40 ℃ 時(shí),相對(duì)濕度高達(dá) 95%(無冷凝)

設(shè)備尺寸:400x450x580mm

重量:38kg

產(chǎn)品特點(diǎn):

■ 高溫爐膛、測(cè)量夾具、測(cè)量軟件等集成于一體,讓操作變得更加簡單,測(cè)量精度則會(huì)更高;

■ 觸摸屏控制和顯示,同時(shí)支持外接鍵盤和鼠標(biāo)操作,滿足多樣化需求;

■ ATI電阻率測(cè)量軟件兼容世界主流儀表Keithley 2400,擴(kuò)展應(yīng)用更加方便;

■ 可以實(shí)現(xiàn)常溫、高溫、真空、氣氛條件下測(cè)量半導(dǎo)體材料的電學(xué)性能;

■ 專業(yè)的測(cè)量軟件,可以測(cè)量半導(dǎo)體材料的方塊電阻和電阻率;

■ 進(jìn)口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛,高耐溫1100℃;

■ 內(nèi)膽采用進(jìn)口金屬材料,耐高溫、抗氧化,可實(shí)現(xiàn)常溫、高溫、真空、流動(dòng)氣氛等多種試驗(yàn)環(huán)境下的電學(xué)測(cè)量;

■ 為了減小高溫下導(dǎo)線受電爐絲的交流信號(hào)干擾而建立了金屬屏蔽罩,有效減小外部信號(hào)的干擾和增加測(cè)試頻率帶寬;

■ 采用九點(diǎn)控溫法,以傳感器為中心點(diǎn),其半徑20mm的圓環(huán)上均勻鋪設(shè)八個(gè)溫度采集點(diǎn),九個(gè)溫度點(diǎn)范圍內(nèi)采集到的溫度大溫差為1℃,此范圍為樣品測(cè)試的佳溫區(qū);

■ 彈簧夾具設(shè)計(jì),彈簧的可壓縮性既不損傷樣品又能實(shí)現(xiàn)樣品的良好接觸;

■ 上電極半球狀+下電極平板狀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可以精確定位測(cè)量被測(cè)樣品某一點(diǎn);

■ 控溫和測(cè)溫采用同一個(gè)傳感器,保證樣品每次采集的溫度都是樣品實(shí)際溫度;

■ 采用九點(diǎn)控溫法,九個(gè)溫度點(diǎn)范圍內(nèi)采集到的溫度大溫差為1℃,此范圍為樣品測(cè)試的佳溫區(qū);

■ 電極支撐和屏蔽采用進(jìn)口合金材質(zhì),利用葉片設(shè)計(jì)可以很好解決因平臺(tái)帶來的熱弛豫影響;

■ 可以測(cè)量半導(dǎo)體材料的方塊電阻、電阻率,實(shí)現(xiàn)常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測(cè)量功能;

■ 操作簡單,功能強(qiáng)大的測(cè)量軟件,可以通過輸入樣品的面積和厚度,軟件自動(dòng)計(jì)算樣品的電阻率ρv;

■ 智能化控制,可自動(dòng)調(diào)節(jié)施加在樣品的測(cè)試電壓,以防樣品擊穿;

■ 采用新的RAM嵌入式開發(fā)平臺(tái),可以進(jìn)行在線升級(jí)、遠(yuǎn)程協(xié)助及故障診斷;

■ 測(cè)量軟件*設(shè)計(jì);

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